氟化钙窗片
这种窗片由定制的氟化钙制成。氟化物通常对人类有毒,然而氟化钙被认为是相对无害的由于其极端的不溶性。这种材料常被用作于红外和紫外波长的窗片材料，因为在波段(约0.15μm 9μm)范围内，它是透明的和表现极弱的双折射。氟化钙的双折射超过可容忍的极限。这个问题与双折射可以减轻通过优化增长过程。它是特别重要的紫外线光材料应用于集成电路光刻技术。
| 规格 | 标准精度 | 高精度 |
|---|---|---|
| 材料 | 氟化钙 | |
| 尺寸公差 | +0.0/-0.2mm | +0.0/-0.02mm |
| 厚度公差 | +0.0/-0.2mm | +0.0/-0.05mm |
| 面形 | λ/2@632.8nm | λ/10@632.8nm |
| 表面质量 | 60-40 | 40-20 |
| 有效孔径 | >85% | >90% |
| 平行度 | 1 arc min | 10 arc sec |
| 倒角 | 0.25mm x 45° | |
| 镀膜 | 不镀膜, AR, HR, PR 和其他 | |
| 标准精度氟化钙窗片 | |
|---|---|
| 圆形: DiaxT(mm) | Φ10.0x3.0, Φ12.7x3.0, Φ15.0x3.0, Φ20.0x3.0, Φ25.0x3.0, Φ25.4x3.0, Φ30.0x3.0, Φ50.8x6.35 |
| 正方形: WxHxT(mm) | 5.0x5.0x1.0, 10.0x10.0x1.0, 15.0x15.0x2.0, 20.0x20.0x2.0, 25.0x25.0x2.0, 50.0x50.0x6.0 |
,
| 高精度氟化钙窗片 | |
|---|---|
| 圆形: DiaxT(mm) | Φ10.0x6.0, Φ12.7x6.0, Φ15.0x6.0, Φ20.0x6.0, Φ25.0x6.0, Φ25.4x6.35, Φ30.0x.6.35, Φ50.8x10.0 |
注意: 其他尺寸，材料和镀膜是可以得到的。
